专利详情

专利名称	反相器及其制作方法
申请号	CN201610591444.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107644878A	公开（授权）日	2018.01.30
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	竺立强;晁晋予;肖惠
主分类号	H01L27/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I
专利有效期	反相器及其制作方法至反相器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种反相器，包含晶体管与电阻，其中，晶体管包含：双电层栅介质层、位于双电层栅介质层的一侧的栅电极，以及位于双电层栅介质层的另一侧的至少一个侧向调控端、沟道、源极与漏极，其中，沟道分别与源极、漏极接触；并且，侧向调控端均不与沟道、源极与漏极电联通；并且电阻的一端与漏极电联通，另一端用于施加电源电压V_DD；晶体管的栅电极作为输入端，漏极作为输出端，源极接地，至少一个侧向调控端用于施加固定偏压V_m，固定偏压V_m用于调整晶体管的阈值电压。本发明能够极大降低反相器的工作电压，降低制造成本，并能够实现反相器的平衡噪音容限，改善反相器的电学特性。