专利详情

专利名称	用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法
申请号	CN201610427573.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107515316A	公开（授权）日	2017.12.26
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李健梅;孙丽欢;唐向前;陆兴华
主分类号	G01Q60/16(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/16(2010.01)I
专利有效期	用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法至用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法。一种用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置包括：电路模块，包括电路单元和数据采集卡，电路单元包括P型晶体管和N型晶体管，P型晶体管的源极接收来自数据采集卡的第一输出端子的电源电压，P型晶体管的漏极连接到N型晶体管的漏极和待蚀刻的针尖，P型晶体管的栅极连接到N型晶体管的栅极，N型晶体管的源极连接到地电势，电路单元还包括比较器，比较器的正极输入接收来自数据采集卡的第二输出端子的参考电压，比较器的负极输入接收来自阴极电极的蚀刻电压，比较器的输出被提供给P型晶体管和N型晶体管二者的栅极；以及控制模块，其连接到数据采集卡以控制数据采集卡的各个输出。