专利详情

专利名称	一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法
申请号	CN201710574964.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107354442A	公开（授权）日	2017.11.17
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	柯培玲;汪爱英;王鑫;张栋;王振玉
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法至一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基体表面硬且韧的减磨防护涂层，由V、Al、C元素组成，Al原子固溶在VC晶格中，主要形成面心立方结构的纳米柱状晶VAlC，其中V含量在30％～40％，Al在15％～20％，C在40％～55％，并且该纳米晶VAlC的直径为10～20nm。该涂层是一种硬且韧的减磨硬质涂层，降低了磨屑与基体的粘着，延长了基体的使用寿命。本发明还提供了一种制备该涂层的方法，采用直流磁控溅射法，以V₂AlC为靶材料，通过CH₄气体调控碳成分，对VAlC涂层结构进行调整，形成晶粒细小的纳米柱状晶VAlC涂层。