专利详情

专利名称	一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统
申请号	CN201710600115.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107356411A	公开（授权）日	2017.11.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	杨飞;安其昌;赵宏超
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统至一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统，在获知大口径光学系统的焦距参数的前提下，包括步骤：S100、开启PSM装置的点光源模式，控制机械臂移动PSM装置至大口径光学系统的反射镜的中心轴线上且靠近反射镜的曲率中心位置，使反射镜曲率中心位于PSM装置的视场内，确定反射镜曲率中心的位置；S200、将激光跟踪仪靶球定位于反射镜曲率中心，利用激光跟踪仪与激光跟踪仪靶球确定反射镜曲率中心的三维空间位置信息；S300、根据反射镜的曲率中心的三维空间位置信息移动激光干涉仪至反射镜的待测位置，通过激光干涉仪获取反射镜的波前误差。该方法减小了人工参与程度，提高了检测精度和效率。