专利详情

专利名称	一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法
申请号	CN201710548160.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107328449A	公开（授权）日	2017.11.07
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	王家畴;薛丹;李昕欣
主分类号	G01F1/688(2006.01)I	IPC主分类号	G01F1/688(2006.01)I
专利有效期	一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法至一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，具有一凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，覆盖于凹槽上方，与衬底相连接，且与衬底共同围成一个隔热腔体；加热元件，位于第一介质膜表面；至少两个感测元件，位于第一介质膜上，且设置于加热元件两侧，包括至少一组单晶硅?金属热偶对组，单晶硅?金属热偶对组包括若干个单晶硅?金属热偶对。通过上述方案结合本发明的单硅片单面制作技术，在普通单晶硅片上加工出赛贝克系数最高的P型单晶硅?金热偶对，并将热偶对以及加热元件通过隔热腔体与衬底隔离，最大程度降低了加热电阻的热耗散，提高了传感器的检测灵敏度。此外，本发明传感器尺寸小、成本低、适于大批量生产。