专利详情

专利名称	编码分束相位测量装置和测量方法
申请号	CN201710476715.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107300420A	公开（授权）日	2017.10.27
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘诚;何西;潘兴臣;陶华;朱健强
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	编码分束相位测量装置和测量方法至编码分束相位测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种编码分束相位的测量装置和测量方法，该装置需要一个光斑探测器，一块已知分布的弱散射样品和各个衍射级光强分布相等的二维光栅及相应的固定装置，成本远远低于常见干涉仪，对环境稳定性要求低。待测光束经过光栅分光后经过分布已知的弱散射样品在成像靶面上形成多个不同互相分离的衍射光斑，再利用迭代算法对每一个衍射光斑进行处理，最终恢复出待测光束的波前振幅和相位。本发明由于利用光栅分光可得到多个不同的衍射光斑，在迭代恢复过程中相比于利用一个衍射光斑迭代恢复的分辨率更高。由于只需要记录一幅衍射光斑，测量过程简便快捷，可用于脉冲激光的波前检测，为波前测量提供了一种解决方案。