专利详情

专利名称	三维磁场测量组件及制备方法
申请号	CN201710372145.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107229021A	公开（授权）日	2017.10.03
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	王会武;张栖瑜;刘全胜;应利良;王镇
主分类号	G01R33/035(2006.01)I	IPC主分类号	G01R33/035(2006.01)I
专利有效期	三维磁场测量组件及制备方法至三维磁场测量组件及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种三维磁场测量组件及制备方法，组件至少包括：衬底、制备在所述衬底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈，其中，所述第一探测线圈与第一SQUID器件相连，且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行；所述第二探测线圈与第二SQUID器件相连，且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行；所述第三探测线圈与第三SQUID器件相连，且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行。本发明在同一个衬底上制备了3个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个空间方向的磁场，这种方法省略了现有技术组件中的立方体结构，减小了三维磁场探测组件的体积和安装难度，降低了制备成本，缩小了三个器件之间非正交性误差。