专利详情

专利名称	利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统
申请号	CN201610178483.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107228957A	公开（授权）日	2017.10.03
申请（专利权）人	国家纳米科学中心;中国科学院物理研究所	发明（设计）人	许瑞;程志海;郇庆;刘利;郑志月
主分类号	G01Q60/04(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/04(2010.01)I
专利有效期	利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统至利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种利用STM的电流信号对AFM信号进行测量的系统，能够利用STM的电流信号对AFM信号进行测量。所述系统主要包括：力学传感器、高带宽电流放大器、非正弦周期信号处理模块、AFM振幅采集器、AFM频率采集器、电流采集器、乘法器、低通滤波器、PI控制模块、压控振荡器、振幅控制模块、差频输出模块和z控制模块。摘要附图中以音叉型微悬臂作为力学传感器为例给出技术原理图：首先利用压控振荡器使微悬臂以频率f₀震荡。样品加电压，在针尖上引导线取得针尖?样品间的隧道电流，经高带宽电流放大器得到实时隧道电流，将其输入非正弦周期信号处理模块，后续分析得到AFM振幅A₁、频率f_sample、STM隧道电流；进而用隧道电流或Δf作为反馈实现扫描。