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一种声表面波传感器芯片结构及传感器

  • 申请号:CN201710198913.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院声学研究所
  • 公开(公开)号:CN107145931A
  • 公开(公开)日:2017.09.08
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种声表面波传感器芯片结构及传感器
申请号 CN201710198913.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN107145931A 公开(授权)日 2017.09.08
申请(专利权)人 中国科学院声学研究所 发明(设计)人 李红浪;蔡飞达;李鹏旭;柯亚兵;田亚会;程利娜
主分类号 G06K19/07(2006.01)I IPC主分类号 G06K19/07(2006.01)I;G01D5/48(2006.01)I;H02N2/18(2006.01)I
专利有效期 一种声表面波传感器芯片结构及传感器 至一种声表面波传感器芯片结构及传感器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种声表面波传感器芯片结构,该结构包括,压电基片(21)和叉指换能器(20);其中,叉指换能器(20)包括汇流条(22)和电极部分(23),电极部分(23)设置为尖角结构;压电基片(21)用于积聚电能;叉指换能器(20)用于将电能转化为机械能,在传播路径上调制声波信号,通过逆压电效应,将机械能转化为电能,为声表面波传感器提供能量。本发明能够使SAW传感器的读写范围大大提升,实现更远距离的接收,满足传感器市场对于读写范围的需求。

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