
一种声表面波传感器芯片结构及传感器
- 申请号:CN201710198913.2
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院声学研究所
- 公开(公开)号:CN107145931A
- 公开(公开)日:2017.09.08
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种声表面波传感器芯片结构及传感器 | ||
申请号 | CN201710198913.2 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN107145931A | 公开(授权)日 | 2017.09.08 |
申请(专利权)人 | 中国科学院声学研究所 | 发明(设计)人 | 李红浪;蔡飞达;李鹏旭;柯亚兵;田亚会;程利娜 |
主分类号 | G06K19/07(2006.01)I | IPC主分类号 | G06K19/07(2006.01)I;G01D5/48(2006.01)I;H02N2/18(2006.01)I |
专利有效期 | 一种声表面波传感器芯片结构及传感器 至一种声表面波传感器芯片结构及传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种声表面波传感器芯片结构,该结构包括,压电基片(21)和叉指换能器(20);其中,叉指换能器(20)包括汇流条(22)和电极部分(23),电极部分(23)设置为尖角结构;压电基片(21)用于积聚电能;叉指换能器(20)用于将电能转化为机械能,在传播路径上调制声波信号,通过逆压电效应,将机械能转化为电能,为声表面波传感器提供能量。本发明能够使SAW传感器的读写范围大大提升,实现更远距离的接收,满足传感器市场对于读写范围的需求。 |
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