专利详情

专利名称	一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法
申请号	CN201710179793.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107043929A	公开（授权）日	2017.08.15
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	王栋;赵智豪;万立骏
主分类号	C23C18/31(2006.01)I	IPC主分类号	C23C18/31(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I
专利有效期	一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法至一种在原子力显微镜探针表面可控区域生成金属镀层的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种在原子力显微镜(AFM)探针表面可控区域生成金属镀层的方法，所述方法是利用化学还原处理的方法在AFM探针针尖表面上进行金属沉积，所述方法制备得到的金属膜层，具有成本低，膜层致密，重现性高和对环境友好等特点。所述方法是通过准确控制AFM针尖扎入含氟化氢的薄膜的深度，在探针针尖表面得到不同大小的活化区域；再将其浸入含有金属离子的盐溶液内进行化学还原反应，通过准确控制沉积时间以及改变金属离子浓度，可以获得不同金属和不同厚度的镀层。因此，通过控制实验中的不同条件，采用化学镀的方法对商品化的AFM针尖进行金属的沉积，可以获得不同性质的光滑TERS针尖。