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一种光学测量台架装置

  • 申请号:CN201710116192.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
  • 公开(公开)号:CN107014589A
  • 公开(公开)日:2017.08.04
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种光学测量台架装置
申请号 CN201710116192.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN107014589A 公开(授权)日 2017.08.04
申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 齐威;齐月静;王宇;卢增雄
主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I
专利有效期 一种光学测量台架装置 至一种光学测量台架装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种光学测量台架装置,该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克?哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题,并且具有一定范围的调节行程,兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔,通过转接法兰,兼容不同直径的镜头,且设计布局开放,便于拆卸及集成安装。

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