
一种光学测量台架装置
- 申请号:CN201710116192.6
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号:CN107014589A
- 公开(公开)日:2017.08.04
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种光学测量台架装置 | ||
申请号 | CN201710116192.6 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN107014589A | 公开(授权)日 | 2017.08.04 |
申请(专利权)人 | 中国科学院光电研究院 | 发明(设计)人 | 齐威;齐月静;王宇;卢增雄 |
主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I |
专利有效期 | 一种光学测量台架装置 至一种光学测量台架装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种光学测量台架装置,该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克?哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题,并且具有一定范围的调节行程,兼容不同焦距的透镜组。该台架装置中心留有较大的安装孔,通过转接法兰,兼容不同直径的镜头,且设计布局开放,便于拆卸及集成安装。 |
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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