专利详情

专利名称	一种窄带负滤光片的制作方法及装置
申请号	CN201710356180.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106990467A	公开（授权）日	2017.07.28
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝东;陈波;王海峰;郑鑫
主分类号	G02B5/28(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/28(2006.01)I;G02B5/26(2006.01)I
专利有效期	一种窄带负滤光片的制作方法及装置至一种窄带负滤光片的制作方法及装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供的窄带负滤光片的制作方法及装置，先获取所需窄带负滤光片对应的中心波长，根据所述中心波长在基底上进行膜厚调制得到第一窄带负滤光片，对完成膜厚调制的第一窄带负滤光片进行振幅裁剪得到所需窄带负滤光片，具有较高的反射率，较低带宽，对带外波纹得到了有效的抑制。进一步地，通过膜厚调制，初步得到一个二阶121.6nm窄带负滤光片，带宽7nm，在121.6nm处反射率达到55％；分别通过正旋波、线性和五次振幅包络函数对膜厚调制作进一步剪裁，实现对带外波纹的抑制，同时带宽减小至5nm。该制作方法简单，设计的膜系包括交替叠加的氟化镁和氟化镧膜层，膜系层数少于30层，选用的材料为常用的材料，且层数少，易于制备。