专利详情

专利名称	一种用于极紫外的二维单级衍射光栅
申请号	CN201710368980.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106959482A	公开（授权）日	2017.07.18
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;王冠亚;李海亮;牛洁斌;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	一种用于极紫外的二维单级衍射光栅至一种用于极紫外的二维单级衍射光栅	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅条均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光栅条相对的两边均为锯齿形；且所述透光栅条在所述第一方向上的宽度处处相同。本发明技术方案通过锯齿形的透光栅条与不透光栅条实现衍射，透光栅条的宽度不变，并设置随机分布的透光栅条，使得不透光栅条的宽度满足预设的随机分布，可以在实现对预设波段实现衍射的同时消除高次谐波。