专利详情

专利名称	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
申请号	CN201710287115.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106887788A	公开（授权）日	2017.06.23
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张星;钟础宇;张建伟;宁永强;王立军
主分类号	H01S5/183(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/183(2006.01)I
专利有效期	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法至一种垂直腔面发射激光器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层，功能辅助层和P型DBR层构成台面结构；P型DBR层设置有沟道；台面结构被沟道分割成多个次台面结构；各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极，这样利用沟道可以形成多个波导，使载流子分布和波导联系起来，进而实现单个电极独立控制单个模式输出，多个电极混合控制少数模式输出。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，可以直接在台面结构上刻蚀形成沟道，实现了新的模式控制方式，且由于所有模式都在一个台面上输出，可以直接与光纤耦合，省去复用器的使用。