专利详情

专利名称	一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途
申请号	CN201710063434.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106835043A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	闫兰琴;褚卫国;徐丽华;宋志伟
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途至一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种透明超疏水薄膜、其制备方法及用途。本发明的透明超疏水薄膜兼具超薄、超透明和极好的超疏水性，厚度在60?150nm，透光率在90?97％，与水的接触角大于167°。本发明采用将射频磁控溅射与退火相结合的方法在普通玻璃、k9玻璃、镀有增透膜的玻璃或者硅等多种透明或非透明衬底上制备薄层氧化锌纳米结构并进行低温氟化处理，大大降低表面能，表现出超疏水特性。该方法工艺简单，制作过程在高真空下进行，污染少，周期短，可重复操作且易于大规模生产，可广泛应用于对透光和超疏水均有要求的光电器件、光学器件等高端领域以及汽车玻璃、家用玻璃等工业、日常生活低端领域，具有十分重要和广泛的意义。