专利详情

专利名称	一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法
申请号	CN201611048879.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106756816A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	姜欣;王永欣;鲁侠;李金龙;王立平
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法至一种基体表面的VC/a?C:H纳米复合涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种VC/a?C:H纳米复合涂层，由硬质相纳米晶VC与润滑相非晶a?C:H组成，并且以a?C:H为基质，纳米晶VC弥散于该基质中，不仅保持了传统VC硬质涂层高硬度、低磨损的特点，同时具有a?C:H材料优异的自润滑特性，对在高磨损、高摩擦环境下作业的基体能起到良好的防护作用，具有很好的应用价值。本发明还提供采用采用多弧离子镀技术，以金属V为靶材，C₂H₂为反应气体，通过控制V靶电流和/或碳源C₂H₂的气体流量可调控涂层中V元素与C元素含量，进而调控涂层中VC相与a?C:H相的含量。