专利详情

专利名称	一种抗压阻效应的薄膜温度传感器及检测温度的方法
申请号	CN201611096763.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106679843A	公开（授权）日	2017.05.17
申请（专利权）人	中国科学院计算技术研究所	发明（设计）人	黄希;崔莉
主分类号	G01K7/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01K7/18(2006.01)I;G01K7/22(2006.01)I
专利有效期	一种抗压阻效应的薄膜温度传感器及检测温度的方法至一种抗压阻效应的薄膜温度传感器及检测温度的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出一种抗压阻效应的薄膜温度传感器及检测温度的方法，涉及海洋传感测量技术领域，该薄膜温度传感器包括绝缘基板，第一热电阻蛇形线，第二热电阻蛇形线，热电阻连接导线，焊盘，绝缘层，其中所述第一热电阻蛇形线与所述第二热电阻蛇形线相互靠近且不互相交叉，所述第一热电阻蛇形线与所述第二热电阻蛇形线分别由所述热电阻连接导线焊接在所述焊盘上，所述焊盘位于所述绝缘基板上，所述绝缘层覆盖所述第一热电阻蛇形线、所述第二热电阻蛇形线、所述热电阻连接导线。本发明能够减小或消除目前薄膜温度传感器中由于压阻效应带来的测量误差，使其能够在深海等大压力环境中进行高精度的温度测量。