专利详情

专利名称	微波ECR等离子体阴极环形束电子枪
申请号	CN201821932032.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN209045482U	公开（授权）日	2019.06.28
申请（专利权）人	中国科学院空间应用工程与技术中心	发明（设计）人	王功; 刘亦飞; 李亮; 贾新建; 刘兵山
主分类号	H01J37/065	IPC主分类号	H01J37/065
专利有效期	微波ECR等离子体阴极环形束电子枪至微波ECR等离子体阴极环形束电子枪	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪，涉及电子束增材制造技术领域。电子枪通过设置中空的环形结构放电腔，并在放电腔的前端连接有微波源，后端依次连接有引出加速电极和聚焦永磁体，在使用过程中，微波源利用电子回旋共振产生等离子体，引出加速电极将电子引出并在聚焦永磁体的作用下聚束，打印金属丝材从放电腔的中心通过，在聚焦电子束的作用下熔融成型。所以，本实用新型中的电子枪不仅提供了等离子体阴极，为空间金属增材制造提供热源，而且使用无极放电，免去了材料电极寿命不足的缺点，有利于在空间中使用；另外，金属丝材可以从电子枪的中心通过，环形电子束可以与金属丝材实现自对中，省去了复杂的对中过程。