专利详情

专利名称	一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法
申请号	CN201810130219.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108326451A	公开（授权）日	2018.07.27
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	李明
主分类号	B23K26/382(2014.01)I	IPC主分类号	B23K26/382(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;B23K26/06(2014.01)I;B23K26/067(2006.01)I
专利有效期	一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法至一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法，在对薄膜，尤其是热控薄膜加热时，提供一对射式激光定位传感器，在热控薄膜上冲击出一排基准孔，以上述基准孔为引导孔，通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置，聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动，当定位于热控薄膜边缘第一孔位后，飞秒激光开启，激光束经由振镜形成扫描光束，所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜，经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜，由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔，超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后，直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。