专利详情

专利名称	一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法
申请号	CN201711462422.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108284054A	公开（授权）日	2018.07.17
申请（专利权）人	中国科学院声学研究所	发明（设计）人	姜雪娇;刘梦伟;王文;师芳芳;宫俊杰
主分类号	B06B1/06(2006.01)I	IPC主分类号	B06B1/06(2006.01)I
专利有效期	一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法至一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法，该制备方法包括：将压电陶瓷衬底切割成多个换能器阵元，形成换能器阵列；所述换能器阵元的宽度和间隔为20?100μm，切割深度为50?300μm；在换能器阵列一侧进行切割，获得底电极共面电连接槽；底电极共面电连接槽宽度为20?300μm；在换能器阵元之间灌胶，在底电极共面电连接槽内灌导电胶；制备底电极；与底电极相对的压电陶瓷面进行厚度减薄处理，使压电陶瓷厚度降低为50?200μm；制备上电极及底电极连接面；将换能器阵列分割，形成多个单个超声线性相控阵列换能器；对换能器引线键合；封装，灌注匹配层。本发明提供的换能器检测分辨率高、探测深度大，可用于微尺度特征结构的超声检测。