专利详情

专利名称	一种光刻机照明控制测试系统及方法
申请号	CN201810090765.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108279553A	公开（授权）日	2018.07.13
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张友宝;马兴华;胡小邦;谢承科;黄立华;侯莉颖;黄惠杰
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种光刻机照明控制测试系统及方法至一种光刻机照明控制测试系统及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处理结果，生成测试报告，并传输给控制中心模块；对气压信号和互锁信号进行监测，并传输给控制中心模块；接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试，并同时自动化给出测试报告，极大提高了集成装调过程的迭代速度。