专利详情

专利名称	一种MEMS传感器控制器电路
申请号	CN201810068856.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108255108A	公开（授权）日	2018.07.06
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	熊兴崟;韩可都;李宗伟;俞度立
主分类号	G05B19/042(2006.01)I	IPC主分类号	G05B19/042(2006.01)I
专利有效期	一种MEMS传感器控制器电路至一种MEMS传感器控制器电路	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及MEMS技术领域，特别是涉及一种MEMS传感器控制器电路，包括：检测单元，将来自MEMS传感器的原始模拟信号转换为模拟电压信号；模数转换单元，将所述模拟电压信号转换为数字信号：环路滤波单元，用于调节控制电路系统参数；量化单元，用于转换数字信号位宽；反馈单元，用于产生反馈信号，调节MEMS传感元件。机械零点调节单元，用于接收量化单元和模数转换单元输出的信号，调节系统参数。本发明通过引入机械零点调节单元以及对环路滤波单元的改进实现了MEMS传感器系统全自由度的辨识和可调，在增加系统稳定性的同时提高了系统精度。