专利详情

专利名称	一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
申请号	CN201810131547.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108169895A	公开（授权）日	2018.06.15
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	李明
主分类号	G02B26/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置至一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置，采用空间光束柔性传输技术，对大幅面复杂图案进行激光制造，主要包括：规划光束空间扫描路径，进行光束空间扫描，根据扫描结果，由传输定位运动平台控制构件在空间中运动，对光斑位置进行准确定位；将激光扫描速度和激光脉冲关联，扫描速度越快，激光脉冲个数越多，通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造；通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制，由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程，在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步，通过CMOS相机监控光束角度偏差，角度偏差经过反射镜，由光束位置检测器检测光束偏转角度；根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。 1