专利详情

专利名称	一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法
申请号	CN201711381380.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108118299A	公开（授权）日	2018.06.05
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	杨俊峰;方前锋;杨瑞芳;王先平;张涛;庄瑞斌;宰广平;程帜军
主分类号	C23C14/34(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/34(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I
专利有效期	一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法至一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法，该涂层设于各种不同成分的基体上，其结构为A?Mo/Mo_x1A_y1N_1?x1?y1/Mo_x2Al_y2C_Z2N_(1?x2?y2?z2)/Mo_x3Al_y3C_Z3Si_u3N_{(1?x3?y3?z3?u3)}，其中，A为基体所含的主要元素，0<x,y,z<1。本发明通过采用多梯度，多元纳米复合的手段来提高涂层的综合性能，与现有技术相比，其制备获得的薄膜具有较高的硬度、膜基结合力和抗氧化性以及低的摩擦系数。