专利详情

专利名称	适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法
申请号	CN201711191975.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108044408A	公开（授权）日	2018.05.18
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	邓伟杰;尹小林;唐瓦;薛栋林;李锐钢;张学军
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I;B24B49/12(2006.01)I
专利有效期	适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法至适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明通过获得工件中心相对离子源束流中心的空间位置关系，实现离子束抛光过程中工件位置精确标定。激光跟踪仪通过接触式测量工件上的线、面等基准信息，再进行立体几何计算得到工件中心空间位置信息。离子源开启后进行法拉第杯扫描，获得离子束流分布及其中心位置，得到离子束中心相对法拉第杯中心坐标系位置。在本发明中，工件中心空间位置经过以下传递：工件→靶球基座→法拉第杯→离子束流，获得工件中心相对离子束流中心的空间位置，从而实现离子束抛光过程中工件位置精确标定。然后CNC代码中驻留时间坐标减去工件中心相对离子束中心的空间位置关系，通过软件将定位误差进行偏置补偿。