专利详情

专利名称	高能粒子降能器件及其制备方法
申请号	CN201711054561.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107863173A	公开（授权）日	2018.03.30
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	李新化;刘敏;史同飞;马文霞
主分类号	G21K1/10(2006.01)I	IPC主分类号	G21K1/10(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I
专利有效期	高能粒子降能器件及其制备方法至高能粒子降能器件及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高能粒子降能器件及其制备方法。降能器件为石墨基底外包覆有致密的氮化硼涂层，致密氮化硼涂层的厚度为5?800μm；制备方法采用气相沉积法，完成步骤如下：先将石墨基底置于真空室中，再按照氨气体、氯化硼气体和氮气体的体积比为0.8?1.2：0.8?1.2：40?60的比例，将三种气体混合，得到混合气体，之后，先将真空室内的温度升至500?2000℃，再向真空室通入流量为10?100sccm的混合气体12?36h，制得目的产物。它的放气率远低于石墨降能器件的放气率，高能粒子束在其和石墨降能器件上的穿透性能良好，可极易于广泛地商业化应用于回旋加速器的高精度高能粒子束降能领域。