专利详情

专利名称	一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法
申请号	CN201710911290.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107782254A	公开（授权）日	2018.03.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝坤;张海东;薛栋林;张学军
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法至一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法，在子孔径拼接面形检测中，能够在使用较小CGH补偿器的情况下扩大单次子孔径测量的区域，从而有效减少所需子孔径的数量，减少误差的传递的同时也减少所需补偿器的数量。利用子孔径拼接检测结合透镜与CGH补偿器混合补偿，使得采用的CGH补偿器摆脱了单次补偿检测区域即子孔径范围内的约束，减少了同样规格凸非球面所需的子孔径数量，进而减少了光学元件调整以及后续拼接计算所需的时间成本；同时减少了所需CGH补偿器的数量，降低了检测的经济成本；并且减少了拼接误差传递和累积，提高了检测精度。