专利详情

专利名称	大口径SiC反射镜镀膜支撑装置
申请号	CN201710735075.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107557743A	公开（授权）日	2018.01.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘震;高劲松;王笑夷;张建;杨海贵
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I
专利有效期	大口径SiC反射镜镀膜支撑装置至大口径SiC反射镜镀膜支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	大口径SiC反射镜镀膜支撑装置，属于光学薄膜镀制技术领域。解决了如何提供一种适用于大口径SiC反射镜磁控溅射镀膜的支撑装置的技术问题。本发明的支撑装置，包括工件盘、支撑柱和限位柱；支撑柱由托盘、半球体、第一T型柱、第一限位销、弹簧、第一调节螺栓和第一T型底座组成，支撑柱的个数至少为三个；限位柱由限位板、第二T型柱、第二限位销、第二调节螺栓和第二T型底座组成，限位柱至少为三个；支撑柱和限位柱交替固定在工件盘上，且支撑柱分布的圆周的直径小于限位柱分布的圆周的直径。该支撑装置具有调节高度和自动调水平的功能，且支撑口径不受限制，安装灵活，尤其适用于大口径RB?SiC反射镜镀制改性层和高反射膜时的支撑。