专利详情

专利名称	一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法
申请号	CN201610436286.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107513690A	公开（授权）日	2017.12.26
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;朱海莉;蒋春磊
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法至一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于真空镀膜技术领域，提供了一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法。所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层涂覆在基底上，包括在所述基底上沉积的金属过渡层，在所述金属过渡层上依次交替沉积的立方氮化硼涂层和类金刚石涂层，所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。本发明提供的类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层，不仅涂层应力小，而且涂层韧性好，具有较长的使用寿命和较好的耐磨性。