专利详情

专利名称	电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法
申请号	CN201710917302.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107505121A	公开（授权）日	2017.12.22
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘世杰;鲁棋;周游;王圣浩;徐天柱;王微微;邵建达
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法至电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法，该装置中的主要元件包括：线偏振光激光器、第一透镜、小孔光阑、第二透镜、分光镜、平面反射镜、接收屏、第三透镜、一维精密电动位移台、第四透镜、线偏振片、第五透镜、图像探测器和计算机，装调光路须用到数字光电自准直仪和一块平行度为1″的平行平板玻璃等。本发明实现了待测电光晶体非接触式无损检测，克服了现有方法中的晶体易产生划痕、测量装置难以搭建和锥光干涉图难以分析等一系列问题。本发明更换不同F数的第三透镜和第四透镜，可对不同厚度的电光晶体进行测量。本发明测量的数据重复性很好，与现有的X射线晶体定向仪测量的数据进行比较，相对误差在30″以内。