专利详情

专利名称	一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法
申请号	CN201710652088.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107498176A	公开（授权）日	2017.12.22
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	郭馨;王宇;丁金滨;刘斌;张立佳;周翊;赵江山;齐威
主分类号	B23K26/00(2014.01)I	IPC主分类号	B23K26/00(2014.01)I;B23K26/352(2014.01)I;B23K26/402(2014.01)I
专利有效期	一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法至一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法，其特征在于，包括以下步骤：利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓，使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化，确定抛光用准分子激光的离焦量，规划表面的扫描路径，调整准分子激光的参数，测定多孔陶瓷的烧蚀阈值F_th，调节准分子激光的输出能量对多孔陶瓷进行抛光，计算抛光前多孔陶瓷的表面凸出粗糙度，计算抛光后多孔陶瓷的表面凸出粗糙度。本发明的方法对多孔陶瓷的热力影响小，不会引起陶瓷材料颗粒剥落、脆断等问题，对抛光材料的尺寸、形状无要求，能够实现薄膜、曲面甚至部分内部结构的抛光，提高了多孔陶瓷抛光效果的辨识度和准确度。