专利详情

专利名称	一种使用团簇靶材的电子加速器设备
申请号	CN201610344140.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107426911A	公开（授权）日	2017.12.01
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	陈黎明;陶孟泽
主分类号	H05H7/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05H7/00(2006.01)I
专利有效期	一种使用团簇靶材的电子加速器设备至一种使用团簇靶材的电子加速器设备	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种使用团簇靶材的电子加速器设备，其特征在于，包括：用于提供真空环境的真空靶室；用于通过其中的超声速喷嘴将气体提供到所述真空靶室以产生团簇的气体输运组件；用于提供激光以与团簇反应的激光器，所述激光器的激光对比度在10^?6到10^?8之间。可以采用诸如氩气等状态稳定气体来用作生成团簇的气体。根据本发明的电子加速装置可以通过调节激光对比度以及输入气体的流量来选择参与反应的团簇的尺寸和密度，从而获得更高品质的电子束输出。并且本发明还可以通过改变激光脉冲到达气体喷嘴上方的时间延时和气体背压，来改变所产生的电子束的发散角。