专利详情

专利名称	飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和方法
申请号	CN201710433180.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107335923A	公开（授权）日	2017.11.10
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	程亚;谭远鑫;储蔚;林锦添;廖洋
主分类号	B23K26/352(2014.01)I	IPC主分类号	B23K26/352(2014.01)I;B23K26/046(2014.01)I
专利有效期	飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和方法至飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和方法，本方面的核心是利用时空聚焦技术对飞秒激光脉冲进行空间整形，操控飞秒激光聚焦光斑实现较大尺寸并且有效避免空气电离，在金属材料表面实现高通量结构加工。与普通的空间聚焦相比，时空聚焦整形后的飞秒激光脉冲与材料相互作用能有效地抑制焦点处飞秒光束的非线性自聚焦效应，从而避免自聚焦和光电离等非线性过程对金属材料表面结构加工质量的影响。本发明具有简单、有效、高速的特点，能够实现高通量精密结构加工，在激光表面加工和打标等领域有重要的潜在应用价值。