专利详情

专利名称	超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法
申请号	CN201610273069.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107331594A	公开（授权）日	2017.11.07
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李星元;孙帅帅;杨槐馨;田焕芳;李建奇
主分类号	H01J37/26(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/26(2006.01)I
专利有效期	超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法至超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法。一种超快透射电子显微系统包括：激光源，用于产生探测激光和激发激光；透射电子显微镜，包括电子枪、电子加速器和成像器；三维电动位移台，用于将所述激发激光引导至所述样品上；一维电动位移台，用于改变所述激发激光的光程；以及控制装置，通过接口连接到所述激光源、所述透射电子显微镜、所述三维电动位移台和所述一维电动位移台以控制其操作，所述控制装置包括：激光电子束共轴模块，用于使所述激发激光与所述探测电子束辐照在所述样品上的同一位置处；自动采集模块，用于自动采集多张透射电镜图像；以及图像批处理模块，用于对所采集的多张透射电镜图像执行批量处理。