专利详情

专利名称	一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用
申请号	CN201710431891.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107267940A	公开（授权）日	2017.10.20
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	杨瑞芳;赵南京;肖雪;殷高方;马明俊;孟德硕;方丽;甘婷婷
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I
专利有效期	一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用至一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用，将载玻片清洗、吹干后备用；将Au?Cu和Ag?Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，开机，抽真空，然后通人氩气,打开溅射电源，交替溅射Au?Cu和Ag?Al，溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源,自然真空下冷却到室温，然后取出样品。本发明操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产的薄膜表面增强荧光基底，该薄膜是多层结构，通过在玻璃上交替沉积Au?Cu和Ag?Al制备，采用的仪器是普通的磁控溅射仪。