专利详情

专利名称	真空镀膜设备的检测系统
申请号	CN201710392929.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107254672A	公开（授权）日	2017.10.17
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	崔骏;刘壮;张撷秋;杨世航;陈旺寿;李霖;钟国华
主分类号	C23C14/52(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/52(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	真空镀膜设备的检测系统至真空镀膜设备的检测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。