专利详情

专利名称	一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法
申请号	CN201610143203.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107188116A	公开（授权）日	2017.09.22
申请（专利权）人	中国科学院沈阳自动化研究所	发明（设计）人	刘连庆;施佳林;于鹏;李广勇
主分类号	B82B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;G05B11/42(2006.01)I
专利有效期	一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法至一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差设定值，相位差设定值与相位差检测反馈值输入至PID控制器，PID控制器输出控制信号、光电传感器输出的悬臂梁偏转信号输入至电压加法器，相加后输出至AFM控制器控制探针的加工的深度。本发明通过实时监测悬臂梁的相位值，最终能够实现加工深度信息的实时检测。