专利详情

专利名称	一种半极性AlN模板
申请号	CN201610137669.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107180884A	公开（授权）日	2017.09.19
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	张纪才;刘婷;王建峰;徐科
主分类号	H01L31/0392(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0392(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种半极性AlN模板 至一种半极性AlN模板	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种半极性AlN模板，其具有半极性显露面，并且包含有孪晶结构或孪晶结构。本发明的半极性AlN模板可直接选用c面蓝宝石或SiC等作为衬底形成，而不需要r面蓝宝石，不仅可以减少AlN外延层中的层错，且成本低廉，而且其制备工艺简单，生长条件易于控制，在生长过程中无二次污染之虞，因此具有较高质量。

交易流程

• 01 选取所需
  专利
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• 07 交付证书

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