专利详情

专利名称	基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法
申请号	CN201710316123.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107121114A	公开（授权）日	2017.09.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	安其昌;张景旭;杨飞;赵宏超
主分类号	G01B21/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01B21/20(2006.01)I
专利有效期	基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法至基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法，涉及大口径平面镜面形评价领域，解决了现有估计方法存在的计算量大、全面性低的问题。该方法包括：将Zernike多项式在频域上的表达代入不同子孔径的不同阶Zernike多项式系数之间的互相关系数在频域上的表达，利用上述获得的公式以及全口径Zernike多项式系数β_j的定义进行计算得到子孔径Zernike多项式系数α_i与全口径Zernike多项式系数β_j之间的关系：为全口径Zernike多项式系数平方的期望；将上述公式进行展开讨论，当阶数i大于3时：本发明利用子孔径镜面功率谱的统计学特征估计大口径平面镜的低阶像差，节省了检测成本，提高了检测精度。