专利详情

专利名称	光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法
申请号	CN201710155971.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107063477A	公开（授权）日	2017.08.18
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	唐锋;王向朝;彭常哲;冯鹏
主分类号	G01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法至光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法，该方法利用的光栅横向剪切干涉仪包括剪切光栅，二维光电探测器；该方法采用光学追迹法获得光栅横向剪切干涉仪在二维光电探测器探测面各个像素的剪切量；将每个像素的剪切量带入表示差分波前的差分多项式，采用最小二乘矩阵系数拟合方法求解待测波前的基函数系数，最后拟合待测波前。本发明解决了光栅横向剪切干涉仪大数值孔径波前检测时剪切量变化引入的重建误差问题，实现简单，精度高。