专利详情

专利名称	用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备
申请号	CN201710315987.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107055467A	公开（授权）日	2017.08.18
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	张广宇;卢晓波;时东霞;杨蓉;汤建
主分类号	B82B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B3/00(2006.01)I
专利有效期	用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备至用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备。根据一示例性实施例，一种真空转移设备可包括：真空腔；二维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。