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平面光学元件绝对面形检测装置

  • 申请号:CN201710380378.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN107036554A
  • 公开(公开)日:2017.08.11
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 平面光学元件绝对面形检测装置
申请号 CN201710380378.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN107036554A 公开(授权)日 2017.08.11
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘世杰;白云波;周游;张志刚;吴福林;王圣浩;鲁棋;王微微;邵建达
主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I
专利有效期 平面光学元件绝对面形检测装置 至平面光学元件绝对面形检测装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种平面光学元件绝对面形检测装置,主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测,实现了提高检测精度的目的,更能有标志性的评价加工水平,为加工精度的进一步提高提供指导意义。

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