专利详情

专利名称	用于光学性能精细调控的相变薄膜结构
申请号	CN201710257962.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106953008A	公开（授权）日	2017.07.14
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	孟云;王阳;温帅
主分类号	H01L45/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L45/00(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	用于光学性能精细调控的相变薄膜结构至用于光学性能精细调控的相变薄膜结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于光学性能精细调控的相变薄膜结构，上下两层为二氧化硅层，中间为相变层，所述的相变层的材料为碳化钛或碳化硅掺杂的锑?碲材料，相变层材料结构通式为MC?(Sb₂Te₃)x，其中，M为钛或硅，x的取值范围为0.5＜X＜1。本发明相变薄膜结构经过激光辐照处理后，在50?250℃温度区间内，其电阻率(或反射率)随温度变化没有显著的突变点，可用于光学精细调控。该相变薄膜结构可广泛应用于纳米尺度光电开关、超快光转换、超分辨光存储等多个领域。