专利详情

专利名称	X射线源装置
申请号	CN201710270691.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106981409A	公开（授权）日	2017.07.25
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	石伟;梁栋;洪序达;胡战利;蒋昌辉
主分类号	H01J35/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01J35/02(2006.01)I;H01J35/04(2006.01)I;H01J35/06(2006.01)I
专利有效期	X射线源装置至X射线源装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及电子发射领域。本发明提供了一种X射线源装置。该X射线源装置包括三极式X射线源、真空腔、真空泵机组、阳极高压电源、栅极高压及脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台。三极式X射线源设置于真空腔内，三极式X射线源由阴极、栅极和阳极组成。并且阳极高压电源和栅极高压及脉冲驱动单元经真空腔法兰分别连接至三极式X射线源的阳极与栅极，三极式X射线源阴极接地。真空环境监测单元和真空泵机组分别经不同法兰连接至真空腔。该装置可以实现阴极测试与老化过程的自动控制，并避免阴极老化过程中持续打火导致的阴极损坏，具有较强的实用性。本发明还提供了利用该装置防止在冷阴极X射线源测试与老化过程中持续打火的方法。