专利详情

专利名称	电化学微震检波器
申请号	CN201710091426.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106908834A	公开（授权）日	2017.06.30
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	王军波;李光磊;陈德勇;陈健;孙振源;陈连宏
主分类号	G01V1/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01V1/18(2006.01)I
专利有效期	电化学微震检波器至电化学微震检波器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用于将敏感电极输出的电信号进行处理，得到负反馈信号；反馈组件，其输入端电性连接至信号处理电路，用于利用负反馈信号向惯性摆体施加与外界震动输入力相反的力，以减小惯性摆体因外界震动输入力而产生的位移。本发明通过一种适用于小型MEMS电化学微震检波器的力平衡负反馈机制，以达到拓展小型MEMS电化学微震检波器工作频带的目的。