专利详情

专利名称	一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法
申请号	CN201510982935.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106906442A	公开（授权）日	2017.06.30
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	李金龙;王越;王永欣;王立平
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I
专利有效期	一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法至一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种具有高硬度与自润滑性的涂层。该涂层将具有高强韧性的非晶纳米晶结构与MAX相层状结构相结合，利用MAX相层状结构具有的良好自润滑性，使涂层不仅具有高硬度，而且具有良好的自润滑性能，能够满足装备关键零部件和工模具等基体的减摩耐磨防护需求。另外，针对由纳米晶TiN、非晶Si₃N₄以及Ti-Si-C三种元素的MAX相层状结构构成的涂层，本发明利用多弧离子镀技术制备该涂层，得到的涂层硬度可达30-40GPa，摩擦系数可达0.1-0.2。