专利详情

专利名称	一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法
申请号	CN201510933644.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106882792A	公开（授权）日	2017.06.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	张燕辉;于广辉;葛晓明;张浩然;陈志蓥;隋妍萍;邓荣轩
主分类号	C01B32/184(2017.01)I	IPC主分类号	C01B32/184(2017.01)I
专利有效期	一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法至一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法，包括：1）将长有石墨烯的金属衬底置于目标衬底上，并将所述石墨烯面朝目标衬底；2）将放置好的长有石墨烯的金属衬底和目标衬底放入反应器中，在保护气氛下，升温至金属衬底熔化温度或以上，使所述金属衬底熔化收缩成金属小球，所述石墨烯附着于目标衬底上，保温预设时间后在保护气氛下降至室温，以将所述石墨烯转移至目标衬底上。本发明的方法重复性高、简单易行，用于微电子和光电子领域用高质量石墨烯的规模批量转移；本发明转移过程属于物理过程且无需其他液态或者固态试剂辅助，转移过程不会引入其他杂质，可有效避免非故意掺杂，降低了转移过程对石墨烯电学性能的影响。