专利详情

专利名称	多彩太阳能电池及其制备方法
申请号	CN201710080923.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106876592A	公开（授权）日	2017.06.20
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	刘敏;李新化;史同飞;马文霞;王玉琦
主分类号	H01L51/42(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/42(2006.01)I
专利有效期	多彩太阳能电池及其制备方法至多彩太阳能电池及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多彩太阳能电池及其制备方法。电池为硅衬底上置有表面形成PN结的有序硅纳米线阵列，其中，硅纳米线的直径为50?120nm、周期为500?1500nm，表面覆有厚1?200nm的介质层；方法为先于硅衬底表面使用纳米球模板法或电子束曝光法或纳米压印技术制作有序掩模后，使用湿法工艺或反应离子刻蚀的博世工艺于其上刻蚀出有序纳米线阵列，再使用扩散工艺对其上置有有序硅纳米线阵列的硅衬底进行表面掺杂硼元素，之后，于得到的其上置有表面形成PN结的有序硅纳米线阵列的硅衬底上使用化学气相沉积法或电子束蒸发法或原子层沉积技术或旋涂法制作介质层后，于其上制作电极，制得目的产物。它可极易于广泛地商业化应用于城市中的光伏发电系统。