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一种长波长垂直腔面发射激光器

  • 申请号:CN201611232774.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN106856296A
  • 公开(公开)日:2017.06.16
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种长波长垂直腔面发射激光器
申请号 CN201611232774.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106856296A 公开(授权)日 2017.06.16
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 刘丽杰;王玥;吴远大;安俊明;胡雄伟
主分类号 H01S5/183(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I
专利有效期 一种长波长垂直腔面发射激光器 至一种长波长垂直腔面发射激光器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器,包括衬底,衬底上依次为n型DBR、n型空间层、有源区、p型空间层、出光孔,p面电极蒸镀于p型空间层上,并包围出光孔,n型DBR中间设有电流限制层,电流限制层上形成有圆形电流限制孔,衬底和n型DBR为等直径的圆台型结构,其直径大于所述出光孔的直径,小于长波长垂直腔面发射激光器最终解离芯片横向尺寸。该结构能够减小长波长垂直腔面发射激光器内部的串联电阻,增加注入载流子的效率,实现器件的高速特性的改进。

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