专利详情

专利名称	极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法
申请号	CN201510844166.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106800270A	公开（授权）日	2017.06.06
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;刘松;徐德辉;马颖蕾
主分类号	B81B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法至极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔的上开口面积或下开口面积大于侧开口的面积。本发明的阻尼孔可运用现有技术水平轻易制备，同时，采用这种阻尼孔的极板结构在用作面内的可动部件时，当可动部件发生相对运动时，位于两个可动部件之间的空气不再因受到束缚发生挤压，而是通过面积较小的进气口进入阻尼孔并通过面积较大的上开口或下开口迅速得到释放，从而减小了阻尼力。同时，由于阻尼孔的侧开口面积较小，使极板面积损失不致过大，不会明显降低静电力，使得采用所述极板结构的静电驱动结构能够获得较大的静电力/阻尼力比值。